牛津電子束鍍膜機是化合物(wù)半導體器件製作中的一種(zhǒng)重要工藝(yì)技(jì)術 。它是在高(gāo)真空狀態下由電子束加(jiā)熱坩堝中的金屬 ，使其熔融後蒸發到(dào)所需基片(piàn)上形成金屬膜

VS5電阻式熱蒸發鍍膜機是英(yīng)國牛津真空公司生產 ，台式設(shè)計(jì) 、軟件自動操控 、高(gāo)性(xìng)價(jià)比 ，非常適合實(shí)驗室(shì)科研使用 。 通過加(jiā)熱蒸發某種(zhǒng)物(wù)質使其沈積(jī)在固體表面 ，稱為(wéi)熱蒸發鍍膜 ，熱蒸發鍍膜技(jì)術是歷史悠久的PVD鍍膜技(jì)術之一 。熱蒸發鍍膜機一般主要用於蒸發Cd
、Pb 、Ag 、Al 、Cu 、Cr 、Au 、Ni等材料 。以下為(wéi)蒸發鍍膜設(shè)備的示意圖 。

電子束蒸發系統(tǒng)是化合物(wù)半導體器件製作中的一種(zhǒng)重要工藝(yì)技(jì)術 。它是在高(gāo)真空狀態下由電子束加(jiā)熱坩堝中的金屬 ，使其熔融後蒸發到(dào)所需基片(piàn)上形成金屬膜 。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽(qì)壓低(dī)的金屬材料 ，包括Ta , W , Mo , Rh , C , B , Pt , Al2O3 , ZnO , Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英(yīng)國牛津真空公司生產 ，台式設(shè)計(jì) 、軟件自動操控 、高(gāo)性(xìng)價(jià)比 ，非常適合實(shí)驗室(shì)科研使用 。

原子層沈積(jī)系統(tǒng) ，包括 ：傳統(tǒng)的熱原子層沈積(jī)系統(tǒng)（TALD） 、等離(lí)子增強原子層沈積(jī)系統(tǒng)（PEALD） 、粉末(mò)樣品(pǐn)的原子層沈積(jī)系統(tǒng)（Power-ALD） 。