牛津電子束鍍膜機是化合物半(bàn)導體(tǐ)器(qì)件製作中的一種重要工(gōng)藝技術 。它是在(zài)高真空狀態下由(yóu)電子束加(jiā)熱坩堝中的金屬 ，使其熔融後蒸發到所需基片上形成金屬膜 。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓(yā)低(dī)的金屬材(cái)料 ，包括Ta , W , Mo , Rh , C , B , Pt , Al2O3 , ZnO , Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英(yīng)國牛津真空公(gōng)司(sī)生產(chǎn) ，台(tái)式設計 、軟件自動操控(kòng) 、高性價(jià)比(bǐ) ，非常適合實驗室科(kē)研使用 。

牛津電子束鍍膜機技術規格(gé) ：
- 基底(dǐ)尺寸 ：3英(yīng)寸 ，4英(yīng)寸 ，6英(yīng)寸 ；
- 基底(dǐ)旋轉 ：0~10rpm ；
- 電子束源 ：Telemark電子束源 ，單袋或多袋電子束源可選(xuǎn) ；
- 熱蒸發源 ：多配(pèi)置2套(tào)熱蒸發舟(選(xuǎn)配(pèi)) ；
- 腔體(tǐ) ：不鏽鋼或石英(yīng)腔體(tǐ)可供客戶選(xuǎn)擇 ；
- 泵 ：前(qián)級(jí)乾泵 ，分(fèn)子泵 ；
- Load Lock樣品傳輸腔室 ：手動或自動傳輸 ，高真空
，支持多種樣品襯底(dǐ)(選(xuǎn)配(pèi)) ；
- 工(gōng)藝控(kòng)制 ：PC/PLC機制的自動控(kòng)制 、數據處理 、遠程支持 ；
- 原位(wèi)監控(kòng) ：石英(yīng)晶振(zhèn)監測(cè)(QCM) ，光學(xué)監測(cè) ，殘餘(yú)氣(qì)體(tǐ)分(fèn)析 ，其他原位(wèi)監測(cè)技術或控(kòng)制 ；
- 襯底(dǐ)固定
：單襯底(dǐ)固定 ，客戶化襯底(dǐ)固定方式 ；
- 襯底(dǐ)夾具 ：加(jiā)熱 ，冷卻 ，偏置 ，旋轉等 ；

參(cān)考用戶 ：
清華大學(xué) 、廈門(mén)大學(xué) 、華中科(kē)大 、廣東(dōng)工(gōng)大 、深圳(zhèn)大學(xué) 、蘭州理工(gōng)大學(xué) 、重慶石墨烯(xī)研究(jiū)院(yuàn)等 。