電子(zǐ)束蒸發鍍膜機
電子(zǐ)束蒸發系統(tǒng)是化合物半導(dǎo)體器件(jiàn)製作中(zhōng)的一(yī)種重要工(gōng)藝技術 。它(tā)是在高真空(kōng)狀態下(xià)由電子(zǐ)束加熱(rè)坩堝中(zhōng)的金屬 ，使其(qí)熔融後蒸發到所(suǒ)需(xū)基片上(shàng)形成金屬膜 。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓(yā)低的金屬材(cái)料 ，包括Ta , W , Mo , Rh , C , B , Pt , Al2O3 , ZnO , Pr2O3…VS5電子(zǐ)束蒸發鍍膜機是英(yīng)國牛津真空(kōng)公司生產 ，台式設計 、軟(ruǎn)件(jiàn)自動操控 、高性價比 ，非常適合實驗室(shì)科研使用 。

技術規格(gé) ：
- 基底尺寸(cùn) ：3英(yīng)寸(cùn) ，4英(yīng)寸(cùn) ，6英(yīng)寸(cùn) ；
- 基底旋轉 ：0~10rpm ；
- 電子(zǐ)束源 ：Telemark電子(zǐ)束源 ，單袋或多袋電子(zǐ)束源可選
；
- 熱(rè)蒸發源 ：多配(pèi)置2套熱(rè)蒸發舟(選配(pèi)) ；
- 腔體 ：不(bù)鏽鋼或石英(yīng)腔體可供(gōng)客(kè)戶選擇 ；
- 泵 ：前級乾泵 ，分子(zǐ)泵 ；
- Load Lock樣品傳輸腔室(shì) ：手(shǒu)動或自動傳輸 ，高真空(kōng) ，支持多種樣品襯底(選配(pèi)) ；
- 工(gōng)藝控制 ：PC/PLC機制的自動控制 、數據處理 、遠程支持 ；
- 原(yuán)位(wèi)監(jiān)控 ：石英(yīng)晶振監(jiān)測(QCM) ，光學監(jiān)測 ，殘餘氣體分析 ，其(qí)他原(yuán)位(wèi)監(jiān)測技術或控制 ；
- 襯底固定 ：單襯底固定
，客(kè)戶化襯底固定方式 ；
- 襯底夾具 ：加熱(rè) ，冷卻 ，偏置 ，旋轉等 ；