1 、定期清潔真空室並(bìng)盡量抹乾 ，每次都*洗乾淨 ，以免造成越(yuè)來越(yuè)難洗的(de)現象 。烘乾後再鍍膜 ，頭一爐(lú)應比(bǐ)原來延長四倍時間才鍍膜 。
 

　　2 、定期更換擴散泵油(yóu) ，更換真空泵及(jí)羅茨泵油(yóu) 。更換擴散泵油(yóu)前(qián)一定要確認真空度是否低於1X102Pa ，擴散泵裡面的(de)油(yóu)溫(wēn)是否*冷卻到常溫(wēn)狀態(tài)後 ，方可(kě)進行加熱或充大(dà)氣進行拆(chāi)卸 ，否則會產生(shēng)傷害人的(de)嚴重(zhòng)後果(guǒ) 。
 

　　3 、平時整(zhěng)個系統要保持真空狀態(tài) ，工作(zuò)前(qián)才充入氣體 ，不要使真空室長期暴(bào)露在大(dà)氣中 。
 

　　4 、經常檢(jiǎn)查(chá)膠(jiāo)封是否良好 ，特別是動密封圈 ，定期給動密封處加上真空脂 。
 

　　5 、定期檢(jiǎn)查(chá)電氣元件(jiàn) ，清除灰塵 ，更換燒壞的(de)元器件(jiàn) 。
 

　　6 、在真空狀態(tài)下(xià)不得拆(chāi)卸擴散泵和閥門 。拆(chāi)卸的(de)方法(fǎ)是 ：先將整(zhěng)個真空系統抽至真空狀態(tài) ，注(zhù)意不要加熱擴散泵 ，用(yòng)手動打(dǎ)開精抽閥 ，然後按(àn)放氣閥按(àn)鈕讓系統充入大(dà)氣 ，當真空室充滿大(dà)氣後就(jiù)可(kě)進行拆(chāi)卸擴散泵和閥門
。
 

　　7 、停旋片泵 、滑閥泵時 ，要注(zhù)意電磁閥(或氣動閥)是否向泵腔充氣 ，否則會引起回(huí)油(yóu) ，污染真空管道 。因此 ，電磁閥(或氣動閥)充氣動作(zuò)失靈時 ，必須及(jí)時進行修理(lǐ)或更換 。
 

　　8 、對於偏北(běi)地(dì)區(qū) ，在寒冷季節 ，夜間和較長時間停機(jī)時 ，必須用(yòng)壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道 、泵體 ，以免凍裂冷卻水管(套)和泵體 。
 

　　9 、精抽系統要待真空壓強達到3Pa後才能(néng)工作(zuò) ，若在過高(gāo)的(de)壓強下(xià)進行抽氣 ，會使擴散泵油(yóu)氧化 ，降低抽氣能(néng)力(lì) ，縮短泵油(yóu)的(de)使用(yòng)壽命 。
 

　　10 、為保證真空鍍膜設(shè)備有清潔的(de)工作(zuò)環境 ，滑閥泵排(pái)出的(de)氣體必須用(yòng)管道將它排(pái)出工作(zuò)房之外 ，因為從滑閥泵排(pái)出的(de)氣體含有很多微小(xiǎo)的(de)油(yóu)霧會污染被鍍的(de)工件(jiàn) ，嚴重(zhòng)影(yǐng)響(xiǎng)膜層的(de)質(zhì)量 。
 

　　11 、在工作(zuò)過程(chéng)中不得斷水 ，採用(yòng)的(de)冷卻水必須清潔 ，不得使用(yòng)硬(yìng)水或濁水作(zuò)為冷卻水 ，否則會使冷卻水管沈積(jī)一層水垢 ，影(yǐng)響(xiǎng)冷卻效果(guǒ) 。