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牛津電(diàn)子束鍍膜機是化合物半導體(tǐ)器件(jiàn)製作中的一種重要工藝(yì)技術 。它(tā)是在高真空狀態下由(yóu)電(diàn)子束加(jiā)熱坩堝中的金屬 ,使其(qí)熔融後蒸發到(dào)所需基片上(shàng)形成金屬膜
更新時間 :2022-11-11
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