VPO-300快速退火爐 快速退火爐（RTP/RTA）是半導(dǎo)體(tǐ)材(cái)料和器(qì)件常(cháng)用的一款工(gōng)藝設備(bèi) 。快速退火爐可以在(zài)真空 、惰性氣氛(fēn) 、不同的工(gōng)藝氣體(tǐ)環境下使用 。VPO-300是一款很(hěn)有特點的快速退火爐 ，有非常(cháng)大的退火空間 ，適(shì)合(hé)12英吋晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理 。

RTP-150快速退火爐 升(shēng)溫速度 ：150攝氏度每秒 ，可以用於(yú)大6英吋晶圓或者156mm x 156mm尺寸樣品熱處理
。RTP-150可以支持惰性氣體(tǐ)保(bǎo)護 、低真空或高真空熱處理 。

RTP-100快速退火爐 升(shēng)溫速度 ：150攝氏度每秒 ，可以用於(yú)大4英吋晶圓或者100mm x 100mm尺寸樣品熱處理 。RTP-100可以支持真空或高真空熱處理 。

RTP-1200快速退火爐 該儀(yí)器(qì) ：尺寸小巧 ，使用風冷 、無須水冷 ，電流要求不高（3安(ān)培） ，性價比高 ，使用方便 ，非常(cháng)適(shì)合(hé)科(kē)研院所的科(kē)研使用 。