

| 品牌 | 其他品牌 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 進口(kǒu) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化(huà)工 ,能源 ,電子/電池(chí) ,包裝/造紙(zhǐ)/印刷 ,電氣 |
快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材(cái)料和器件常(cháng)用的一款工藝設備 。快速退火爐可以在(zài)真空 、惰性氣氛 、不同的工藝氣體環境下使用 。VPO-300是一款很有(yǒu)特(tè)點的快速退火爐 ,有(yǒu)非(fēi)常(cháng)大的退火空間 ,適合12英吋晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處(chù)理 。
儀器特(tè)點
:
- 快速熱處(chù)理
、快速熱退火 RTP / RTA
;
- 可在(zài)真空
、甚至於高真空環境使用
;
- 加(jiā)熱區域尺寸
:300毫米 X 300毫米
;
- 廣泛用於太陽(yáng)能電池(chí)片快速退火工藝
,如156mm x 156mm電池(chí)片
,300mm x 300mm電池(chí)片等
;
儀器特(tè)點
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- 快速熱處(chù)理
、快速熱退火 RTP / RTA
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- 可在(zài)真空
、甚至於高真空環境使用
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- 加(jiā)熱區域尺寸
:300毫米 X 300毫米
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- 廣泛用於太陽(yáng)能電池(chí)片快速退火工藝
,如156mm x 156mm電池(chí)片
,300mm x 300mm電池(chí)片等
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