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光學薄膜測厚儀(yí) 薄膜表面或界面的反射(shè)光會(huì)與從基底(dǐ)的反射(shè)光相干涉 ,干涉的發生與膜厚及折光系數等(děng)有(yǒu)關 ,因(yīn)此可通(tōng)過計算得到(dào)薄膜的厚度(dù) 。光干涉法是一種無損 、且快速的光學薄膜厚度(dù)測量技術 ,我們(men)的薄膜測量系統採用光干涉原
更(gèng)新時(shí)間 :2020-11-01
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