光學薄膜(mó)測厚儀

薄膜(mó)表面或界面的(de)反射光會與從基底(dǐ)的(de)反射光相干涉 ，干涉的(de)發生與膜(mó)厚及折光系數(shù)等有(yǒu)關 ，因此可(kě)通過計算得(dé)到薄膜(mó)的(de)厚度 。光干涉法是一種無損(sǔn) 、且快速的(de)光學薄膜(mó)厚度測量技(jì)術 ，我們的(de)薄膜(mó)測量系統採用光干涉原(yuán)

光反射薄膜(mó)測厚儀
原(yuán)產國(guó)
：美國(guó)
薄膜(mó)表面或界面的(de)反射光會與從基底(dǐ)的(de)反射光相干涉 ，干涉的(de)發生與膜(mó)厚及折光系數(shù)等有(yǒu)關 ，因此可(kě)通過計算得(dé)到薄膜(mó)的(de)厚度 。光干涉法是一種無損(sǔn) 、且快速的(de)光學薄膜(mó)厚度測量技(jì)術 ，我們的(de)薄膜(mó)測量系統採用光干涉原(yuán)理測量薄膜(mó)厚度 。
該產品是一款價格適(shì)中 、功能強大(dà)的(de)膜(mó)厚測量儀器 。近幾年 ，每年的(de)銷售量都超(chāo)過200台 。根據型號不同 ，測量範圍可(kě)以從10nm到250um ，它可(kě)以同時測量4個膜(mó)層中的(de)3個膜(mó)層厚度（其(qí)中一層為基底(dǐ)材料） 。該產品可(kě)應用於(yú)在線膜(mó)厚測量 ，測氧化物 、SiNx 、感(gǎn)光保護膜(mó)和半(bàn)導(dǎo)體膜(mó) ，也可(kě)以用來(lái)測量鍍在鋼(gāng) 、鋁 、銅 、陶(táo)瓷和塑料等上的(de)粗糙膜(mó)層 。
 
應用領域 
理論上講 ，我們的(de)光干涉膜(mó)厚儀可(kě)以測量所(suǒ)有(yǒu)透(tòu)光或半(bàn)透(tòu)光薄膜(mó)的(de)厚度 。以下為我們熟悉的(de)應用領域(半(bàn)導(dǎo)體薄膜(mó) ，光學薄膜(mó)塗(tú)層 ，在線原(yuán)位測量 ，粗糙或弧度表面測量) ：
- 晶片或玻璃表面的(de)介電(diàn)絕緣層(SiO2 , Si3N4 , Photo-resist , ITO , ...) ；
- 晶片或玻璃表面超(chāo)薄金(jīn)屬(shǔ)層(Ag , Al , Au , Ti , ...) ；
- DLC(Diamond Like Carbon)硬塗(tú)層 ；SOI硅片 ；
- MEMs厚層薄膜(mó)(100μm up to 250μm) ；
- DVD/CD塗(tú)層 ；
- 光學鏡頭塗(tú)層 ；
- SOI硅片 ；
- 金(jīn)屬(shǔ)箔 ；
- 晶片與Mask間氣層 ；
- 減薄的(de)晶片(< 120μm) ；
- 瓶子(zǐ)或注射器等帶弧度的(de)塗(tú)層 ；
- 薄膜(mó)工業的(de)在線過程控制 ；等等…

軟件功能 
豐富的(de)材料庫 ：操作軟件的(de)材料庫帶有(yǒu)大(dà)量材料的(de)n和k數(shù)據 ，基本上的(de)常用材料都包括在這個材料庫中 。用戶也可(kě)以在材料庫中輸入沒有(yǒu)的(de)材料 。
軟件操作簡單 、測速快 ：膜(mó)厚測量儀操作非常簡單 ，測量速度快 ：100ms-1s.
軟件針對(duì)不同等級(jí)用戶設有(yǒu)一般用戶權限和管理者權限 。
軟件帶有(yǒu)構建(jiàn)材料結構的(de)拓展功能 ，可(kě)對(duì)單/多層薄膜(mó)數(shù)據進行擬合分(fèn)析 ，可(kě)對(duì)薄膜(mó)材料進行預先(xiān)模(mó)擬設計 。
軟件帶有(yǒu)可(kě)升級(jí)的(de)掃(sǎo)描功能 ，進行薄膜(mó)二維(wéi)的(de)測試 ，並(bìng)將結果以2D或3D的(de)形(xíng)式顯示 。軟件其(qí)他的(de)升級(jí)功能還包括在線分(fèn)析軟件 、遠程控制模(mó)塊等 。