電子束蒸發系統(tǒng)是化(huà)合物半(bàn)導體器件(jiàn)制(zhì)作(zuò)中的一(yī)種重要工藝(yì)技術 。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金(jīn)屬 ，使其熔融後(hòu)蒸發到所需基片上(shàng)形成金(jīn)屬膜 。可(kě)蒸發很(hěn)多難熔金(jīn)屬或者蒸汽(qì)壓低的金(jīn)屬材(cái)料(liào) ，包括Ta , W
, Mo , Rh , C , B , Pt , Al2O3 , ZnO , Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產 ，台(tái)式設計 、軟件(jiàn)自(zì)動操控 、高性(xìng)價比 ，非常適合實驗(yàn)室(shì)科研使用 。