牛津電子束(shù)鍍膜機(jī)採(cǎi)用電子束(shù)加熱 ，不用坩堝上的(de)片作為(wéi)蒸發(fā)源 ，可(kě)以穩定地(dì)形(xíng)成(chéng)多層薄膜 ；利用我公司*的(de)比(bǐ)例(lì)控制方法(fǎ)和多點在(zài)線監測 ，可(kě)以形(xíng)成(chéng)高(gāo)精度(dù) 、穩定的(de)光學多層膜 ；可(kě)以使用可(kě)操作性好(hǎo)的(de)電梯來取(qǔ)出基板傘架 。

　　電子束(shù)蒸發(fā)系統(tǒng)是化(huà)合物半導體器件製作中的(de)一種(zhǒng)重(zhòng)要(yào)工藝技術 ；它是在(zài)高(gāo)真(zhēn)空狀態下由電子束(shù)加熱坩堝中的(de)金屬(shǔ) ，使其熔融後(hòu)蒸發(fā)到所需(xū)基片上形(xíng)成(chéng)金屬(shǔ)膜 。

　　牛津電子束(shù)鍍膜機(jī)採(cǎi)用均勻分布的(de)高(gāo)離子電流(liú)密度(dù)離子源 ，配備雙(shuāng)電子槍 ，可(kě)在(zài)多點和環形(xíng)坩堝中鍍100層以上 ，採(cǎi)用自(zì)動蒸發(fā)控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自(zì)動蒸發(fā)過(guò)程(chéng) ，工件架可(kě)以是鐘罩式(shì)或行星式(shì) 。

　　電子束(shù)鍍膜機(jī)薄膜測試(shì)標準 ：

　　1.初始接觸角範圍為(wéi)115°±5° ；

　　2.鋼絲絨摩擦阻(zǔ)力測試(shì)標準 ：使用0000#鋼絲絨 ，面積10*10mm ，行程(chéng)40次/min ，負載(zài)1Kg ，往返摩擦5000次後(hòu)接觸角大(dà)於(yú)100° ；

　　3.皮擦測試(shì)標準 ：直徑6mm皮擦 ，行程(chéng)25次/min ，負載(zài)1Kg ，往返摩擦2500次後(hòu)接觸角大(dà)於(yú)100° ；

　　備注 ：試(shì)樣的(de)玻(bō)璃應是經(jīng)過(guò)拋光的(de)觸摸屏蓋板專(zhuān)用玻(bō)璃 ，表面光滑 。

　　牛津電子束(shù)鍍膜機(jī)優點 ：

　　1.提高(gāo)沈積速率以獲得更高(gāo)的(de)產(chǎn)量 ；

　　2.在(zài)半導體 、光電子和光子學領域(yù)實現(xiàn)高(gāo)精度(dù)工藝 ；

　　3.堅固耐用 ，易於(yú)維護 。