牛(niú)津電子(zǐ)束(shù)鍍膜機(jī)是化(huà)合(hé)物半導體器件製作中的一種重(zhòng)要工藝技術(shù) ；它(tā)是在高(gāo)真空(kōng)狀(zhuàng)態(tài)下由電子(zǐ)束(shù)加熱(rè)坩堝中的金屬 ，使其熔融後蒸發(fā)到(dào)所需基片上形(xíng)成金屬膜 。可蒸發(fā)很(hěn)多(duō)難熔金屬或者(zhě)蒸汽壓低的金屬材料 ，包括Ta , W , Mo , Rh , C , B , Pt , Al2O3 , ZnO , Pr2O3…

　　電子(zǐ)束(shù)鍍膜機(jī)的各部分(fèn)組成及其工作原理(lǐ)

　　一 、真空(kōng)主體——真空(kōng)腔根據加工產品要求的各異 ，真空(kōng)腔的大小也不(bù)一樣(yàng) ，目前應用(yòng)最多(duō)的有直(zhí)徑1.3M 、0.9M 、1.5M 、1.8M等(děng) ，腔體由不(bù)鏽鋼" target=_blank>不(bù)鏽鋼材料製作 ，要求不(bù)生(shēng)鏽 、堅實等(děng) ，真空(kōng)腔各部分(fèn)有連接閥(fá) ，用(yòng)來連接各抽氣泵浦 。

　　二(èr) 、輔(fǔ)助抽氣系統 ：排氣系統為鍍膜機(jī)真空(kōng)系統的重(zhòng)要部分(fèn) ，主要有由機(jī)械泵 、增壓泵(主要介(jiè)紹羅茨泵) 、油擴散泵三大部分(fèn)組成 。此排氣系統採用(yòng)“擴散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成 。排氣流程(chéng)為 ：機(jī)械泵先將真空(kōng)腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空(kōng)狀(zhuàng)態(tài) ，為擴散泵後繼抽真空(kōng)提供前提 ，之後當擴散泵抽真空(kōng)腔的時候 ，機(jī)械泵又配合(hé)油擴散泵組成串聯 ，以這樣(yàng)的方式完成抽氣動作 。

　　機(jī)械泵 ：也叫前級泵 ，機(jī)械泵是應用(yòng)*泛的一種低真空(kōng)泵 ，它(tā)是用(yòng)油來保持密封效果並依靠(kào)機(jī)械的方法(fǎ)不(bù)斷的改變(biàn)泵內吸氣空(kōng)腔的體積
，使被抽容器內氣體的體積不(bù)斷膨(péng)脹從而獲(huò)得真空(kōng)
。

　　牛(niú)津電子(zǐ)束(shù)鍍膜機(jī)主要特點 ：

　　1. 安全簡(jiǎn)易的軟件操作系統 ，四個不(bù)同級別(bié)的用(yòng)戶權限（操作 、工藝 、工程(chéng)師以及維修保養）較(jiào)大限度(dù)的保證系統的安全 。

　　2. 雙腔設計 ：蒸發(fā)材料和晶片分(fèn)別(bié)處於不(bù)同的腔體中 ，使得源材料的更換和晶片的裝載過程(chéng)中最大限度(dù)的保證腔體的潔淨程(chéng)度(dù)和縮短抽真空(kōng)的時間 。

　　3. 較(jiào)大的前腔門(mén)使得在維修和保養的過程(chéng)中極為方便(biàn) 。

　　4. 牛(niú)津電子(zǐ)束(shù)鍍膜機(jī)採用(yòng)衛(wèi)星旋轉式晶片裝載夾(jiá)具(jù) ，可以根據不(bù)同的產量的需要升級晶片直(zhí)徑或增加夾(jiá)具(jù)的數量 。衛(wèi)星旋轉式夾(jiá)具(jù)保證了沈積薄膜的均勻性(xìng) 。