開爾文探針（Kelvin Probe）是一(yī)種非接(jiē)觸無損(sǔn)震蕩電容裝置 ，用(yòng)於(yú)測量導體(tǐ)材(cái)料(liào)的功(gōng)函數（Work Function）或半導體(tǐ) 、絕緣表(biǎo)面的表(biǎo)面勢（Surface Potential） 。材(cái)料(liào)表(biǎo)面的功(gōng)函數通常由上層的1-3層原(yuán)子或分子決定 ，所以(yǐ)開爾文探針是一(yī)種的表(biǎo)面分析技(jì)術 。主要型號 ：KP020 （單點開爾文探針） ，SKP5050（掃描開爾文探針） 。